机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 专利 [1]

发表日期

• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 一种多层薄膜的沉积装置 专利  OAI收割 专利类型: 实用新型, 申请日期: 2011-01-19, 公开日期: 2011-01-19 赵彦辉, 肖金泉, 郎文昌, 于宝海 and 华伟刚 收藏  |