机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2001 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 偏压对阴极电弧离子镀AlN薄膜的影响 期刊论文  OAI收割 材料研究学报, 2001, 期号: 6, 页码: 675-680 黄美东,董闯,宫骏,卢春燕,孙超,黄荣芳,闻立时 收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2012/04/12 偏压  阴极电弧离子镀  物理气相沉积  AlN薄膜