机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2018 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Crystal quality improvement of sputtered AlN film on sapphire substrate by high-temperature annealing 期刊论文  OAI收割 Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 2018, 卷号: 29, 期号: 16, 页码: 13766-13773 作者:  Lu Zhao ;   Kun Yang Yujie Ai ;   Lian Zhang ;   Xiaolong Niu Hongrui Lv ;   Yun Zhang   |  收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2019/11/18