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一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: 201210019354.1, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2015-01-06
1翟厚明2 马斌 3程正喜 4张学敏
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一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法 专利  OAI收割
专利号: 201010565106.8, 申请日期: 2012-01-01, 公开日期: 2013-01-14
作者:  
1翟厚明2 马斌 3程正喜 4张学敏
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