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一种掩模用光刻胶微凸镜列阵的等离子体回流成形方法 专利  OAI收割
专利号: 201010182280.4, 申请日期: 2011-01-01, 公开日期: 2011-12-15
作者:  
1 叶振华 2黄建 3 胡伟达 4 尹文婷 5 马伟平 6 陈昱7林春8 胡晓宁9 丁瑞军 10 何力
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