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Mechanical Design of Compact Vertical and Horizontal Linear Nanopositioning Flexure Stages With Centimeter-Level Travel Range for X-Ray Beamline Instrumentation
会议论文
OAI收割
Denmark, 2017
作者:
B.Lai
;
W.Liu
;
J.Maser
;
C.Roehrig
;
J.Z.Tischler
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提交时间：2017/10/16
