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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2019 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 A beam homogenizer for digital micromirror device lithography system based on random freeform microlenses 期刊论文  OAI收割 Optics Communications, 2019, 卷号: 443, 页码: 211-215 作者:  Z.Y.Liu;  H.Liu;  Z.F.Lu;  Q.K.Li;  J.H.Li   |  收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2020/08/24 Homogenizer,Microlens array,Freeform surface,DMD lithography system,laser,optics   Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system 期刊论文  OAI收割 Optics Communications, 2019, 卷号: 434, 页码: 1-6 作者:  Q.K.Li;  Y.Xiao;  H.Liu;  H.L.Zhang;  J.Xu   |  收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2020/08/24 Microlithography,Lithography,Digital image processing,maskless lithography,fabrication,Optics