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硅中分子离子注入的损伤增强效应 期刊论文  OAI收割
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学), 1992, 期号: 07
林成鲁; 杨根庆; 方子韦; 李晓勤; 邹世昌; J.Gyulai; R.G.Elliman
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/03/29
P_2~+和P~+注入硅固相外延过程时间分辨的反射率研究 期刊论文  OAI收割
物理学报, 1990, 期号: 07
方子韦; 林成鲁; 杨根庆; 李晓勤; 邹世昌; R.G.ELLIMAN
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/03/29