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• 上海光学精密机械研究... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 An approach to increase efficiency of DOE based pupil shaping technique for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文  OAI收割 opt. express, 2015, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 4482 作者:  Zhang, Fang;  Zhu, Jing;  Yue, Weirui;  Wang, Jian;  Song, Qiang 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28