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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 穆参军 收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  　高速大尺寸光学扫描镜  　电磁驱动执行器  　三明治蜂窝夹层结构  　镜面动态形变  　线扫描光学分辨率