机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 镍硅化物工艺新进展 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2009, 卷号: 39, 期号: 6, 页码: 5，824-828 作者:  尚海平;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/06/01 自对准硅化物  一硅化镍  Mosfet  Ir