中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
长春光学精密机械与物... [2]
沈阳自动化研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2018 [2]
2010 [1]
学科主题
筛选
浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
沈晨
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机
三维工作台
凸面光栅
摆动刻蚀
硅改性RB-SiC
用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:
沈晨
;
谭鑫
;
朱继伟
;
张伟
;
齐向东
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2019/09/17
衍射光栅
曲面闪耀光栅
光栅刻蚀
三维工作台
圆弧拟合算法
轨迹误差
激光快速成型防氧化真空系统设计
期刊论文
OAI收割
机械设计与制造, 2010, 期号: 4, 页码: 42-43
王维
;
佟明
;
王兴良
;
杨光
;
钦兰云
收藏
  |  
浏览/下载:55/0
  |  
提交时间:2012/05/29
真空获得系统
激光熔覆
扩散泵
三维工作台