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2011 [1]
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学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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共7条,第1-7条
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不同时间尺度上枣树树干液流的变异特性
期刊论文
OAI收割
干 旱 地 区 农 业 研 究, 2016, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 95-101
作者:
马建鹏
;
汪有科
;
陈滇豫
;
靳姗姗
;
佘 檀
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提交时间:2019/05/20
枣树
树干液流
不同方位
不同深度
径向分布
流动沙丘不同深度CO_2浓度差异研究
期刊论文
OAI收割
土壤通报, 2011, 卷号: 42, 期号: 2, 页码: 461-466
作者:
邵天杰[1]
;
赵景波[1,2]
;
董治宝[1,3]
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提交时间:2019/01/09
流动沙丘
CO2 浓度
不同深度
影响因素
昼夜变化规律
超声速气流中液体喷射穿透深度的研究
会议论文
OAI收割
第十四届全国激波与激波管学术会议论文集(上册), 中国安徽黄山
作者:
陈立红
;
梁园
;
顾洪斌
;
田璐
;
李长亮
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提交时间:2010/11/25
超声速气流
角度喷射
不同位置
穿透深度
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
北京脉冲低能正电子束流装置研究
期刊论文
OAI收割
中国原子能科学研究院年报, 2007, 期号: 0, 页码: 234
作者:
马雁云
;
王宝义
;
于润升
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提交时间:2015/12/25
低能正电子束:6451
慢正电子束流:4461
聚束器:2848
脉冲宽度:2587
材料表面:2342
不同深度:2306
研究缺陷:1965
斩波器:1801
装置:1741
连续可调:1648
塔参1井深层有机质演化特征
会议论文
OAI收割
2001年全国沉积学大会, 中国武汉, 2001-10-16至2011-10-19
周世新
;
王先彬
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提交时间:2012/10/30
塔参1井
有机质演化
深层样品
详细地研究
气体组分
塔里木盆地
饱和烃
几点认识
碳酸盐岩
不同深度
放射虫
CNKI期刊论文
OAI收割
1959
作者:
譚智源
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提交时间:2024/12/18
放射虫
不同深度