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	钛合金激光焊接背面保护装置气流数值分析期刊论文 OAI收割焊接技术, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 44-48 作者: 魏强; 王敏; 谷侃锋收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2012/05/29 钛合金激光焊接保护工装气流形态数值模拟保护装置进气流量焊缝保护效果不同结构参数
	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 宁锦华 \| 收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。
	基于相干布居囚禁原理的新型原子钟会议论文 OAI收割中国光学学会2006年学术大会, 中国广东广州, 2006 郭文阁; 张首刚; 姜海峰; 刘海峰收藏 \| 浏览/下载：35/0 \| 提交时间：2012/10/19 量子频标相干布居囚禁原子钟激光稳频 87Rb\|Abstract 近年来基于相干布居囚禁原理的新型原子钟由于其优越的性能和潜在的军事和民用前景受到了国内外频标界研究人员的广泛关注。在欧洲依托于Galileo计划意大利国家电子研究所(IEN) 正在研制的CPT 87Rb maser(物理部分功耗约0．5 W) 近期已获得了秒稳8×10-13 10000秒的稳定度为 3×10-14的实验结果。而且还有很大的改进空间。国家授时中心量子频标研究团组瞄准这一国际前沿开展了基于相干布居囚禁原理(Coherent Population Trapping)的新型原子钟——CPT 87Rb maser的研制工作。我们在Λ-型三能级原子系统模型的基础上采用半经典的密度矩阵方法分析了87Rb气体的相干布居囚禁现象。数值模拟结果显示当两束相干激光频率差等于87Rb原子的两个基态超精细结构子能级频率差时 87Rb气体具有荧光暗线和相干微波辐射的特性。它们可以作为相干布居囚禁原子频标的物理基础。利用荧光暗线可实现被动型相干布居囚禁原子频标用相干微波可实现主动型相干布居囚禁原子频标。本文简要介绍了该原子钟的工作原理和国内外的研究现状报道了实现主动型相干布居囚禁原子频标的设计框图及我们的研究进展。在目前报道的原子钟结构基础上我们在研制新型CPT Maser 原子钟实验装置上进行了改进其一为提高原子钟的连续可靠性我们开发全自动控制的稳定可靠的小型半导体激光系统。该自动系统能够为钟频率伺服系统提供激光器运行状态信号以便避免误控制和实时监控钟运行状态。其二在频率合成链路方面不同于传统原子钟在微波信号频率伺服控制处理方法为减小钟物理部分的鉴频误差电信号对本地晶体振荡器频率稳定度的影响我们采用数字频率补偿方法而非象传统伺服锁频方法那样直接控制该晶振频率。该方法还可以避免因晶振老化引起的频率溢出调节范围而造成的失锁也可使我们灵活的采用合理的数据处理方法和计算参数来充分利用本地晶体振荡器优良的短稳特性和提高原子钟长期稳定度。