机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 2019 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  赵磊   |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜