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中间层顶重力波耗散引起钠原子输送的激光雷达观测研究 期刊论文  OAI收割
地球物理学报, 2017, 卷号: 60, 期号: 2, 页码: 499-506
作者:  
巴金;  胡雄;  闫召爱;  郭商勇;  程永强
收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2017/04/07
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
轫致辐射X光源初步研究 期刊论文  OAI收割
核技术, 2009, 期号: 11, 页码: 806-812
作者:  
顾小冯;  罗小为;  戴建枰
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2015/12/14
基于产生式建模的高分辨率复杂目标提取技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2008
林殷
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2011/07/19
基于产生式建模的高分辨率复杂目标提取技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2008
林殷
收藏  |  浏览/下载:41/0  |  提交时间:2011/07/19
利用脉冲重复率倍增和时域泰伯效应实现毫米波脉冲的产生 期刊论文  OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 9, 页码: 634, 637
潘政清; 叶青; 蔡海文; 瞿荣辉; 方祖捷
收藏  |  浏览/下载:1087/202  |  提交时间:2009/09/18
基于脉冲时域反射的传输路径特性探测 会议论文  OAI收割
2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会, 中国四川成都, 2007
陈小忠; 吴海涛; 卢晓春; 黄宁
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2012/10/19
有机废弃物污染及其资源化利用中的几个关键问题研究 学位论文  OAI收割
中国科学院地理科学与资源研究所: 中国科学院地理科学与资源研究所, 2005
作者:  
高定
  |  收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2010/12/16
剪切水-气界面下湍流猝发特征的实验研究 期刊论文  OAI收割
力学学报, 2005, 卷号: 37, 期号: 2, 页码: 129-134
作者:  
王双峰;  贾复;  王晋军
收藏  |  浏览/下载:1177/8  |  提交时间:2010/05/03