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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2017 [1]
• 2016 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/04/09 光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦   声子晶体点缺陷模式质量传感的位置解耦方法 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2016, 期号: 3, 页码: 382-385 作者:  龙斌;  李鹏;  刘永顺;  李峰;  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/09/17 质量传感器  声子晶体  位置解耦  点缺陷  灵敏度