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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

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• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10 杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/04/13 低噪声加速度计  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼