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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2015 [1]
• 2014 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39 作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/07/06 耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法   调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298 作者:  李显凌;  张德福 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2015/04/17 光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形