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高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2143-2148
作者:  
徐明飞;  黄玮
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2016/07/06
连续变焦光学系统的像差自动设计 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 272-278
作者:  
马迎军;  张葆;  洪永丰
收藏  |  浏览/下载:28/0  |  提交时间:2016/07/06