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• 长春光学精密机械与物... [1]
• 光电技术研究所 [1]

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• OAI收割 [2]

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• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文  OAI收割 电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794 作者:  张德福;  孙振 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2015/04/17 光刻投影物镜  位移缩小机构  完全解耦  波像差   自适应光学系统的光束质量影响问题研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009 叶红卫 收藏  |  浏览/下载：192/0  |  提交时间：2013/11/19 自适应光学  光束质量  变形镜  像差解耦  联合闭环