机构

• 长春光学精密机械与... [46]
• 上海光学精密机械研... [17]
• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [64]

内容类型

• 期刊论文 [53]
• 学位论文 [11]

发表日期

• 2022 [1]
• 2019 [3]
• 2018 [1]
• 2017 [3]
• 2016 [7]
• 2015 [9]
• 更多

学科主题

• 光学工程 [2]
• 物理学 [1]
• 物理学::光学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共64条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  杨超   |  收藏  |  浏览/下载：98/0  |  提交时间：2022/10/08 光学设计，投影光刻物镜，波像差，像质补偿   投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  赵磊   |  收藏  |  浏览/下载：133/0  |  提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜   光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐   |  收藏  |  浏览/下载：114/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李朋志   |  收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿   投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  周泽龙   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/09/23 投影光刻物镜  偏振像差  琼斯矩阵  穆勒矩阵   光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2017, 页码: 790-797 作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/04/09 光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度   193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文  OAI收割 中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581 作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑   |  收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2018/04/09 集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学   光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2017, 页码: 302-310 作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/04/09 光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数   全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643 作者:  刘健;  张春雷;  徐乐;  马占龙;  王飞   |  收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2017/09/17 氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)   狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文  OAI收割 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者:  董世则   |  收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2017/09/17 狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试