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硅微机械谐振传感器激光激振测振技术的研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者:  
刘英明
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2016/11/28
一种硅微机械谐振器的单光源激振测振方法 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1661, 1664
刘英明; 王向朝
收藏  |  浏览/下载:1273/200  |  提交时间:2009/09/18