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采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [4]
学位论文 [2]
发表日期
2015 [2]
2009 [1]
2002 [1]
1997 [1]
1995 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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共6条,第1-6条
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聚合物太阳能电池器件热稳定性的研究进展
期刊论文
OAI收割
应用化学, 2015, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 2017-01-17
作者:
李自东
;
赵晓礼
;
杨小牛
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提交时间:2017/01/20
聚合物太阳能电池
光敏层
形貌热稳定性
器件性能
硫属铋系纳米结构材料合成及光电性质
学位论文
OAI收割
博士, 北京, 北京: 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院, 2015, 2015
作者:
李仁雄
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提交时间:2015/05/11
硫属铋系纳米材料
纳米复合材料
低温光敏
局域光电流
接触势垒
荧光淬灭
不对称电极对器件
阶梯状带阶分布
场效应晶体管
硫属铋系纳米材料
纳米复合材料
低温光敏
局域光电流
接触势垒
荧光淬灭
不对称电极对器件
阶梯状带阶分布
场效应晶体管
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
芯—壳结构复合纳米颗粒
期刊论文
OAI收割
物理, 2002, 卷号: 031
作者:
阚彩侠
;
蔡伟平
;
张立德
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提交时间:2020/11/25
芯-壳结构复合纳米
可控光学特性
共振吸收
纳米光电子器件
合成
光敏器件
纳米光子学
无触点式节能照明控制电路
期刊论文
OAI收割
电工技术, 1997, 期号: 03, 页码: 34
于桂珍
;
于江蛟
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提交时间:2013/03/11
控制电路:4402
光敏电阻:4269
大功率半导体器件:3452
节能照明:3398
无触点:3066
光导效应:2904
光照射:2821
暗电流:2276
光电导器件:2106
高电阻率:1871
光敏器件及粘度自动测量仪
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 1995, 期号: 2, 页码: 28-30
马跃廷
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提交时间:2010/12/30
光敏器件
光电转换
粘度自动测试仪