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长春光学精密机械与物... [2]
上海应用物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2017 [2]
2016 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:
王玮
;
巴音贺希格
;
潘明忠
;
宋莹
;
李文昊
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2018/04/09
光学设计
光栅
扫描干涉场曝光
光束对准
曝光对比度
位置解耦
角度解耦
双光束单脉冲三维成像装置离线对准系统研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2017
作者:
邓明君
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2017/12/08
时空对准
双光束
白光干涉
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:
王玮
;
巴音贺希格
;
宋莹
;
姜珊
;
潘明忠
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2017/09/17
光栅
扫描干涉场曝光系统
光束对准
收敛性能
装调误差