机构

• 上海光学精密机械研究... [4]
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采集方式

• OAI收割 [9]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 学位论文 [4]

发表日期

• 2022 [2]
• 2019 [1]
• 2018 [2]
• 2016 [1]
• 2014 [3]

学科主题

• 物理学::光学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 基于二维朗奇相位光栅的四波横向剪切干涉定量相位成像 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2022, 卷号: 51, 期号: 11 作者:  宋金伟;  闵俊伟;  袁勋;  薛雨阁;  姚保利   |  收藏  |  浏览/下载：125/0  |  提交时间：2023/04/11 干涉术  四波横向剪切干涉  定量相位成像  相位测量  相位光栅   基于四波横向剪切干涉的定量相位显微成像及应用研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2022 作者:  宋金伟   |  收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2022/06/20 定量相位显微  四波横向剪切干涉  棋盘相位光栅   光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐   |  收藏  |  浏览/下载：134/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2019/09/23 系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度   光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者:  张璐;  向阳   |  收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2019/09/17 测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差   光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  李杰 收藏  |  浏览/下载：311/0  |  提交时间：2016/11/28 波前测量  横向剪切干涉  波前重建  光栅元件  系统误差   光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006 作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28 测量  光栅横向剪切干涉  系统误差  Zernike多项式  光刻投影物镜   光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006 作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2016/11/25 测量  光栅横向剪切干涉  系统误差  Zernike多项式  光刻投影物镜   光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006 作者:  李杰;  唐锋;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：123/0  |  提交时间：2016/11/28 测量  光栅横向剪切干涉  系统误差  Zernike多项式  光刻投影物镜