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	光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 \| 收藏 \| 浏览/下载：116/0 \| 提交时间：2020/08/24 光刻物镜光学检测波像差光栅横向剪切干涉仪绝对检测
	光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 方超 \| 收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2019/09/23 系统波像差光栅横向剪切干涉相位复原算法零级串扰误差重复精度
	光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法期刊论文 OAI收割中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者: 张璐; 向阳 \| 收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2019/09/17 测量光刻镜头绝对检测光栅横向剪切干涉仪系统波像差
	基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者: 苏雅茹收藏 \| 浏览/下载：48/0 \| 提交时间：2016/11/28 离轴抛物面反射镜温度特性脉冲压缩光栅波像差
	基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统理论分析与模拟学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者: 苏雅茹收藏 \| 浏览/下载：276/0 \| 提交时间：2016/11/28 离轴抛物面反射镜温度特性脉冲压缩光栅波像差
	基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者: 苏雅茹收藏 \| 浏览/下载：85/0 \| 提交时间：2016/11/28 离轴抛物面反射镜温度特性脉冲压缩光栅波像差
	全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响期刊论文 OAI收割光学学报, 2012, 期号: 07, 页码: 58-65 韩建; 巴音贺希格; 李文昊; 孔鹏收藏 \| 浏览/下载：6/0 \| 提交时间：2013/03/11 衍射叠栅条纹光栅波像差相对离焦
	脉冲压缩光栅光路调节新方法研究期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 11, 页码: 1609, 1613 张伟; 吴建宏; 朱健强; 李朝明收藏 \| 浏览/下载：1346/263 \| 提交时间：2009/09/18 衍射与光栅叠栅条纹波像差数值模拟
	反射式摄谱仪/单色计计算机辅助设计的研究期刊论文 OAI收割光学精密工程, 1993, 期号: 05, 页码: 1-9 赵晓东收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2013/03/11 计算机辅助设计全息光栅摄谱仪波像差单色计象质评价超环面