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长春光学精密机械与物... [5]
上海光学精密机械研究... [4]
采集方式
OAI收割 [9]
内容类型
学位论文 [5]
期刊论文 [4]
发表日期
2019 [1]
2018 [2]
2016 [3]
2012 [1]
2006 [1]
1993 [1]
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
张璐
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
方超
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光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:
张璐
;
向阳
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基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
苏雅茹
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基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统理论分析与模拟
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
苏雅茹
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基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
苏雅茹
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全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 07, 页码: 58-65
韩建
;
巴音贺希格
;
李文昊
;
孔鹏
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脉冲压缩光栅光路调节新方法研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 11, 页码: 1609, 1613
张伟
;
吴建宏
;
朱健强
;
李朝明
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反射式摄谱仪/单色计计算机辅助设计的研究
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1993, 期号: 05, 页码: 1-9
赵晓东
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