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衍射极限环光源纵向束流注入非线性优化（英文） 期刊论文  OAI收割
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 88-93
作者:  沈思淇;  田顺强;  张庆磊;  吴旭;  赵振堂
  |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2020/10/19
基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  杨朝兴
收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2016/11/28
自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  江海波
收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2015/07/30
一种增大工艺窗口的光源优化方法 期刊论文  OAI收割
激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 10, 页码: 151-157
作者:  江海波
收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2016/11/01
基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/25
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2016/11/25
基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/11/28
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/11/28
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/11/28
基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28