机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118 作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2016/07/06 成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热