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OAI收割 [19]
内容类型
期刊论文 [10]
中文期刊论文 [5]
学位论文 [3]
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发表日期
2017 [1]
2016 [1]
2015 [2]
2014 [3]
2009 [1]
2008 [2]
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学科主题
天文和天体物理 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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共19条,第1-10条
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清宫西洋仪器的收藏、分等与新知传播 以《仪器总说》为中心
期刊论文
OAI收割
科学文化评论, 2017, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 55-67
作者:
孙承晟
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提交时间:2022/07/18
科学仪器
仪器总说
皇朝礼器图式
清宫
分等
摄光千里镜
地磁场磁力线可视化种子点选取的磁场强度线积分等分算法
期刊论文
OAI收割
空间科学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 147-152
作者:
高广大
;
胡晓彦
;
钟佳
;
邹自明
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提交时间:2016/04/11
地磁场可视化
种子点选取
冗余磁力线过滤
线积分等分算法
西北五省(区)耕地质量等别差异性比较
期刊论文
OAI收割
干 旱 地 区 农 业 研 究, 2015, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 230-236
作者:
王凤娇
;
杨延征
;
上官周平
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提交时间:2019/05/06
土地利用
耕地质量
分等
西北地区
章丘市耕地质量分等与年产值标准测算——基于标准耕作制度
中文期刊论文
OAI收割
2015
作者:
陈源源
;
闫弘文
;
王璐
;
赵彤彤
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提交时间:2015/12/18
耕地质量分等
耕地年产值
理想值法
章丘市
典型生态系统土壤养分状况及影响因素分析
学位论文
OAI收割
博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
作者:
牛彩香
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浏览/下载:242/0
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提交时间:2015/06/24
典型生态系统
土壤养分
影响因素
养分等级
soil nutrient
influencing factors
nutrient level
typical ecosystems
农用土地质量评价研究进展
中文期刊论文
OAI收割
2014
作者:
吴晓光
;
郝润梅
;
苏根成
;
高淑梅
;
杨超
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2015/12/17
土地评价
耕地地力评价
农用地分等
应对新一轮耕地质量等别更新评价的成果检验研究
中文期刊论文
OAI收割
2014
作者:
钱凤魁
;
王秋兵
;
韩春兰
;
荣雪
;
孙福军
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2015/12/17
耕地等别
分等成果
更新评价
检验
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
La_(0.6)Nd_(0.4)Ni_(4.8)Mn_(0.2)M_(0.1)(M=Cu,Zr)合金的贮氢性能研究
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2008, 期号: 4, 页码: 599-603
李慎兰
;
程宏辉
;
邓小霞
;
吕曼祺
;
陈德敏
;
杨柯
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提交时间:2012/04/12
贮氢合金
非化学计量比
压力-成分等温线
动力学
抗粉化性能
La0.6Nd0.4Ni4.8Mn0.2M0.1(M=Cu,Zr)合金的贮氢性能研究
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2008, 卷号: 37.0, 期号: 004, 页码: 599-603
作者:
李慎兰
;
程宏辉
;
邓小霞
;
吕曼祺
;
陈德敏
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提交时间:2021/02/26
贮氢合金
非化学计量比
压力
成分等温线
动力学
抗粉化性能