机构

• 光电技术研究所 [10]
• 力学研究所 [1]
• 数学与系统科学研究院 [1]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [13]

内容类型

• 期刊论文 [13]

发表日期

• 2016 [10]
• 1997 [2]
• 1958 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共13条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/06/15 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/10/29 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理   光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23 作者:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/12/20 光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理