机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  江海波 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2015/07/30 光学光刻  计算光刻  光刻仿真  分辨力增强技术  照明模式  光源掩模优化（SMO）