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近红外多普勒差分干涉仪稳定性结构研究
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2023, 卷号: 52, 期号: 11
作者:
孙剑
;
冯玉涛
;
畅晨光
;
王炜
;
李娟
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提交时间:2024/01/04
近红外差分干涉仪
最优结构
数学模型
结构应力
剪切应力
面形
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
张璐
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浏览/下载:116/0
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提交时间:2020/08/24
光刻物镜
光学检测
波像差
光栅横向剪切干涉仪
绝对检测
基于单衍射元件的径向剪切干涉技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:
王忠宇
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浏览/下载:80/0
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提交时间:2019/07/24
波前探测
径向剪切干涉仪
菲涅尔波带片
余弦波带片
近场光强分布对四波横向剪切干涉仪波前复原的影响研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:
陈小君
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浏览/下载:180/0
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提交时间:2018/05/23
四波横向剪切干涉仪
近场光强分布
波前复原
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:
张璐
;
向阳
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2019/09/17
测量
光刻镜头
绝对检测
光栅横向剪切干涉仪
系统波像差
一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 11, 页码: 131-138
作者:
刘志祥
;
邢廷文
;
蒋亚东
;
吕保斌
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提交时间:2016/11/01
测量
相移剪切干涉仪
调制度函数
波像差
光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
吴飞斌
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浏览/下载:150/0
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提交时间:2016/11/28
光刻投影物镜
1xnm节点
波像差原位检测
Ronchi剪切干涉仪
相位提取
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:
向阳
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提交时间:2015/04/17
测量
横向剪切干涉仪
相移算法
相位复原
基于剪切干涉法的大气相干长度直接实时测量
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 12, 页码: 1208006
作者:
周健
;
孙建锋
;
鲁伟
;
马小平
;
刘立人
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提交时间:2016/11/28
光通信
大气相干长度
剪切干涉仪
大气湍流
可变载频径向剪切雅敏干涉仪
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:
朱勇建
;
那景新
;
王宇
;
职亚楠
;
范玉峰
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/11/28
雅敏干涉仪
径向剪切干涉仪
条纹图
非球面模具