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机构
西北高原生物研究所 [1]
过程工程研究所 [1]
高能物理研究所 [1]
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2019 [1]
2009 [1]
2005 [1]
2003 [1]
学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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黑果枸杞的功用考证及研究进展
期刊论文
OAI收割
华西药学杂志, 2019, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 638-642
作者:
张弓
;
陈莎莎
;
周武
;
周浩楠
;
孟晶
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提交时间:2020/11/25
黑果枸杞
化学成分
药理活性
功用考证
花色苷
多糖
多酚
抗氧化
抗辐射
研究进展
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
吴大猷论科学教育
期刊论文
OAI收割
物理通报, 2005, 期号: 1, 页码: 16-21
作者:
叶铭汉
;
戴念祖
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提交时间:2015/12/07
在以下几方面对吴大猷的科学教育思想作出简略叙述:(1)关于各级学校的科学教育目标或任务
(2)关于教学与教材改革
(3)关于灌注式和启发式教育
(4)论统考弊端及改进方法
(5)关于通才(素质)教育问题
(6)论大学教授和教授治校
(7)论大学特色和第一流大学
(8)论"学非所用".吴大猷的这些思想
对台湾的整个教育品质的提升产生了非常深远的影响
在今天也有其借鉴功用.
海带多糖功用研究进展(二)
期刊论文
OAI收割
精细与专用化学品, 2003, 卷号: 11.0, 期号: 008, 页码: 13
作者:
钱风云
;
傅德贤
;
欧阳藩
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提交时间:2021/03/29
海带多糖
功用
研究进展
自由基
抗氧化作用