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加热方式对自然循环太阳能集热系统传热特性的影响 会议论文  OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
陈欢1; 张良1; 朱子钦1; 范利武1; 2; 俞自涛1; 胡亚才1; 洪荣华1; 樊建人2
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2013/03/20
加热方式对自然循环太阳能集热系统传热特性的影响 会议论文  OAI收割
2012
作者:  俞自涛1;  胡亚才1;  洪荣华1;  樊建人2;  陈欢1
  |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/20
无容器凝固钛氧玻璃在光子晶体的应用研究 会议论文  OAI收割
第十七届全国高技术陶瓷学术年会, 中国江苏南京, 2012-09-19
宋英翠; 李勃; 李建强
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2013/09/29
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
激光器腔体温度控制电路设计 会议论文  OAI收割
第三届全国虚拟仪器大会, 中国广西桂林, 2008-12-01
汪振东; 郭际; 李志刚
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/10/19
饮用水中消毒副产物的消减措施 中文期刊论文  OAI收割
2008
作者:  杨林生;  叶必雄;  王五一
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/05/19
脉冲热管的实验研究 学位论文  OAI收割
硕士, 2004
张显明
收藏  |  浏览/下载：327/83  |  提交时间：2010/07/28
远红外辐射加热催化床净化有机蒸汽的实验研究 期刊论文  OAI收割
环境科学, 1989, 期号: 3, 页码: 38-42+97
作者:  贺克斌;  徐康富;  顾其顺;  范学钢;  刘启才
  |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/19