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OAI收割 [7]
内容类型
期刊论文 [5]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2017 [1]
2015 [1]
2009 [1]
2006 [1]
1987 [1]
1985 [2]
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学科主题
天文和天体物理 [2]
红外探测材料与器件 [1]
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共7条,第1-7条
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热损伤后北山花岗岩裂隙演化及渗透率试验研究
期刊论文
OAI收割
岩土工程学报, 2017, 期号: 08, 页码: 1493-1500
作者:
陈世万
;
杨春和
;
刘鹏君
;
魏翔
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2018/06/25
热损伤
渗透率
加热速率
渗透类型
裂隙体积应变
Ti_2AlC陶瓷的超高温氧化行为研究
会议论文
OAI收割
徐敬军
;
高增华
;
钱余海
;
李美栓
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2016/04/20
高温氧化行为
氧化速率
抗氧化性
Ti_2AlC
高温结构材料
感应加热
选择性氧化
金属性
热分解
晶体结构
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
微波加热法合成CaS∶Ce,Sm及其发光特性
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2006, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 532-534
作者:
朱磊
;
巴维真
;
陈朝阳
;
刘秋江
;
丛秀云
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提交时间:2012/11/29
微波加热
高温固相
反应速率
光谱
分子云的热平衡
期刊论文
OAI收割
天文学进展, 1987, 卷号: 8, 期号: 2, 页码: 130-139
唐沅,向德琳
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提交时间:2012/12/22
分子云
加热机制
热平衡
加热速率
暗云
宇宙线
引力坍缩
冷却速率
热压力
原恒星
Ortho-H_2O与分子云中的能量平衡
期刊论文
OAI收割
天文学报, 1985, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 213-225
张承岳
;
唐沅
;
向德琳
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/12/22
分子云
能量平衡
水分子
加热率
冷却率
尘埃
红外源
发射率
气体密度
碰撞速率系数
固体生物质气化特性及上吸式气化炉
期刊论文
OAI收割
太阳能学报, 1985, 期号: 1
徐冰嬿
;
罗曾凡
;
周希光
;
蔡玉平
;
朱文洁
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浏览/下载:305/78
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提交时间:2010/06/09
上吸式气化炉
固体生物质气化
热分解温度
气化速率
燃烧速率
气体质量
生物质炭
加热速率
床层高度
木屑