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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化 会议论文  OAI收割 中国微米/纳米第六届学术年会, 2003 黄树森; 郭南翔; 黄晖; 宋朝辉; 李欣昕; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/18 加速度传感器 结构优化 灵敏度 自由振动 振动频率 深反应离子刻蚀