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• 上海光学精密机械研究... [3]
• 工程热物理研究所 [1]

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• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2014 [3]
• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/28 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/25 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   煤粉燃烧中焦炭燃烧模型的比较与分析 会议论文  OAI收割 中国工程热物理学会-燃烧学, 2013 张志; 李振山; 蔡宁生 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/11/29 焦炭燃烧  单膜模型  Stephan流  气化反应