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圆形双压电复合薄膜驱动气体微泵理论分析
会议论文
OAI收割
作者:
胡院
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提交时间:2017/07/12
压电驱动
气体微泵
Rayleigh-ritz法
Mems
多级“Y”型流管无阀压电泵的原理与试验验证
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 423-430
黄俊
;
张建辉
;
王守印
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2014/03/07
多级“Y”型流管
压电泵
无阀泵
微混合器
微量试剂分配压电叠堆泵的设计与实验
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2011, 期号: 03
陈立国
;
邵超
;
刘德利
;
陈涛
;
朱永杨
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提交时间:2012/04/13
微量试剂分配
微泵
压电叠堆
微位移放大机构
DFT扩频广义多载波的系统仿真
期刊论文
OAI收割
微计算机信息, 2010, 期号: 07
徐其
;
李明齐
;
卜智勇
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提交时间:2012/01/06
深反应离子刻蚀
锯齿流道
压电微泵
性能
效率
基于MEMS技术的微阀和微泵的设计与研制
学位论文
OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2007
耿照新
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浏览/下载:81/0
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提交时间:2011/07/19
微电子机械系统
微阀
微泵
PDMS
SU-8
压电
压电双晶片驱动的压电微泵的研究
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2007, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 302-304
王海宁
;
崔大付
;
耿照新
;
陈兴
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2010/05/19
微泵
压电双晶片
聚二甲基硅氧烷(PDMS)
基于MEMS技术的自吸微泵的研制
学位论文
OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
王海宁
收藏
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2011/07/19
微型泵
无阀微泵
被动阀
压电双晶片
PDMS
基于MEMS技术的自吸微泵的研制
学位论文
OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
王海宁
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提交时间:2011/07/19
微型泵
无阀微泵
被动阀
压电双晶片
PDMS