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地球自转参数对同步卫星定轨的影响 会议论文  OAI收割
第二届中国卫星导航学术年会, 中国上海, 2011
曹芬; 杨旭海; 李志刚; 冯初刚
收藏  |  浏览/下载:46/0  |  提交时间:2012/10/19
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
关于Revit平台工程量计算软件的若干问题的探讨 期刊论文  OAI收割
计算机工程与设计, 2008, 卷号: 29, 期号: 14, 页码: 3760-3762
齐聪; 苏鸿根
收藏  |  浏览/下载:68/0  |  提交时间:2011/06/10
HP5071A铯原子钟内部工作参数的监视与分析 会议论文  OAI收割
2005年全国时间频率学术交流会, 中国西安, 2005
刘春侠; 王改霞; 漆溢
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2012/10/19
CME影响下L1点附近等离子体及共生微波爆发的射电辐射机制研究 期刊论文  OAI收割
空间科学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 167-172
孙伟英; 吴季
收藏  |  浏览/下载:50/0  |  提交时间:2014/05/04
关于分级单屈服面模型的几个问题的探讨 期刊论文  OAI收割
岩土力学, 2004, 期号: 07, 页码: 1059-1062
作者:  
王德玲;  葛修润
  |  收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2018/06/25
相对论性层子模型中的标量介子波函数 期刊论文  OAI收割
成都科技大学学报, 1979, 期号: 4, 页码: 31-37
作者:  
王明中;  郑希特;  汪克林;  冼鼎昌;  章正刚
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2015/12/07
标量耦合的矢量介子结构波函数 期刊论文  OAI收割
高能物理与核物理, 1977, 期号: 1, 页码: 7--18
作者:  
王明中;  郑希特;  冼鼎昌;  汪克林;  章正刚
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2015/12/07