中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
长春光学精密机械与物... [3]
电子学研究所 [2]
国家授时中心 [2]
力学研究所 [1]
测量与地球物理研究所 [1]
光电技术研究所 [1]
更多
采集方式
OAI收割 [12]
内容类型
期刊论文 [9]
学位论文 [3]
发表日期
2015 [1]
2013 [2]
2009 [1]
2008 [2]
2003 [1]
1989 [3]
更多
学科主题
红外探测材料与器件 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共12条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者:
方斌
;
田伟
;
王汝冬
;
朱岩
;
张永凯
收藏
  |  
浏览/下载:26/0
  |  
提交时间:2016/07/06
光学设计
光学检测
平面标准镜
有限元法
参考面面形
槽缝型缺陷参考平面对高速信号的影响研究
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2013, 期号: 3, 页码: 510-515+520
作者:
杨海峰
;
周睿
;
李梅
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2016/11/01
缺陷参考平面
信号完整性
耦合噪声
返回路径
高速PCB
新疆天文台 GPS 与VLBI 本地连接测量
期刊论文
OAI收割
中国科技成果, 2013, 期号: 4, 页码: 42-45
作者:
张阿丽
;
熊福文
;
朱文耀
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2016/07/06
地球参考架
GPS-VLBI
平面控制网
VLBI参考中心
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:30/0
  |  
提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
圆周SAR共焦三维成像原理与方法研究
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2008
吴雄峰
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2011/07/19
圆周合成孔径雷达
三维成像
共焦三维成像算法
投影共焦三维成像算法
多参考平面投影共焦三维成像算法
圆周SAR共焦三维成像原理与方法研究
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2008
吴雄峰
收藏
  |  
浏览/下载:102/0
  |  
提交时间:2011/07/19
圆周合成孔径雷达
三维成像
共焦三维成像算法
投影共焦三维成像算法
多参考平面投影共焦三维成像算法
实用电子稳像技术原理及方法
期刊论文
OAI收割
光机电信息, 2003, 期号: 02, 页码: 29-31
王明佳
;
金光
;
钟平
;
张炜
收藏
  |  
浏览/下载:30/0
  |  
提交时间:2013/03/11
电子稳像:8940
位平面:1974
技术原理:1827
运动向量:1746
图像序列:1411
参考帧:1326
灰度值:1291
偏移量:1275
匹配法:1197
帧图像:1143
脉冲注入锁定染料激光器的光束参数选择和模式匹配
期刊论文
OAI收割
激光技术, 1989, 期号: 05, 页码: 45-51
张铁军
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2013/03/11
染料激光器:5418
注入锁定:4681
模式匹配:4026
谐振腔参数:3274
参数选择:2307
高斯光束:2286
参考平面:1842
离轴角:1691
象散补偿:1601
匹配问题:1552
相对论框架里的时间尺度
期刊论文
OAI收割
天文学进展, 1989, 期号: 1, 页码: 43-51
黄天衣
;
许邦信
;
张挥
;
朱进
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2012/07/09
原时:5091
坐标时:5024
时间尺度:3508
质心参考系:3237
同时性:2503
相对论:2260
地心历表:2126
平均海平面:1947
大地水准面:1859
国际原子时:1700