机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 168-172 作者:  朱江平;  胡松;  于军胜;  唐燕;  周绍林 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/23 光栅  光刻对准  反射式光路  叠栅条纹  光栅标记