中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
近代物理研究所 [12]
力学研究所 [2]
上海微系统与信息技术... [1]
上海技术物理研究所 [1]
合肥物质科学研究院 [1]
工程热物理研究所 [1]
更多
采集方式
OAI收割 [18]
内容类型
期刊论文 [13]
学位论文 [4]
会议论文 [1]
发表日期
2023 [1]
2013 [1]
2009 [3]
2006 [1]
2005 [1]
2003 [1]
更多
学科主题
力学 [1]
粒子物理与原子核物理 [1]
红外探测材料与器件 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共18条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
造纸污泥在快速升温条件下的燃烧特性分析及碱金属释放状况研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2023
作者:
滕秦峥
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:26/0
  |  
提交时间:2023/07/10
造纸污泥
生物质
碱金属
发射光谱
平面火焰燃烧器
金属丝网反应器
一次风速度对煤颗粒群着火特性影响的实验研究
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会-燃烧学, 2013
许开龙
;
俞伟伟
;
吴玉新
;
张海
;
刘青
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2013/11/29
煤粉
湍流
着火
一次风
平面携带流反应器
中低能区He2++He碰撞反应转移电离机制研究
学位论文
OAI收割
2009
冯文天
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2010/01/24
反应显微成像谱仪 转移电离机制 散射平面 “分子化”特征电子 电子与 电子干涉
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:30/0
  |  
提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
中低能 He2+-He 碰撞反应转移电离机制实验研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
冯文天
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2011/06/29
反应显微成像谱仪
转移电离机制
散射平面
“分子化”特征电子
CSR外靶实验终端中子流测量的模拟
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2006, 卷号: 2006, 期号: 11, 页码: 1083-1087
付芬
;
肖志刚
;
靳根明
;
冯兆庆
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2010/10/29
Csr
中子流
反应平面
碰撞参数
低覆盖度的Au/GaN(0001)界面的同步辐射研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2005, 卷号: 054
作者:
邹崇文
;
孙柏
;
王国栋
;
张文华
;
徐彭寿
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:41/0
  |  
提交时间:2020/11/25
覆盖度
Au
同步辐射光电子能谱
化学反应
势垒高度
初始阶段
生长模式
电子结构
实验确定
界面形成
肖特基
态密度
平面波
价带
表面
能级
Ga
Ni25Al75合金快速凝固过程中的包晶反应与凝固进程
期刊论文
OAI收割
中国有色金属学报, 2003, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 335-338
作者:
巴发海
;
沈宁福
;
虞钢
收藏
  |  
浏览/下载:1211/140
  |  
提交时间:2007/06/15
Ni25Al75合金
快速凝固
包晶反应
平面流铸技术
显微组织
微区成分
中能核反应中的集体流
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2002, 卷号: 2002, 期号: 04, 页码: 380-386
魏志勇,李祖玉,诸永泰,周瑾
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2010/10/29
集体流
动力学发射
方位角关联
反应平面
中能核反应中反应平面的确定
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2002, 卷号: 2002, 期号: 01, 页码: 35-38
魏志勇,靳根明,诸永泰,吴和宇
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2010/10/29
反应平面
统计发射
动力学发射