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2019 [1]
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植物学 [1]
生态研究 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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宁南山区红梅杏桃小食心虫的发生与防治
期刊论文
OAI收割
安徽农业科学, 2019, 卷号: 47, 期号: 13, 页码: 136-140
作者:
白岗栓
;
杜社妮
;
郑纪勇
;
郑锁林
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提交时间:2021/03/04
杏
桃小食心虫
发生规律
防治技术
鄂尔多斯高原东南部清代蝗灾研究
期刊论文
OAI收割
自然灾害学报, 2015, 卷号: 24, 期号: 2, 页码: 213-220
作者:
罗小庆[1]
;
赵景波[1,2]
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提交时间:2019/01/08
鄂尔多斯高原东南部
清代
变化规律
蝗灾等级
发生条件
蝗灾预测
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
东北西部沙尘暴灾害发生规律及防治对策
期刊论文
OAI收割
干旱区资源与环境, 2009, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 81-84
王毅勇
;
裘善文
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提交时间:2010/11/11
东北西部
沙尘暴
发生规律
防治对策
玉米弯孢叶斑病研究现状、问题与展望
期刊论文
OAI收割
植物保护, 2004, 期号: 6, 页码: 5—10
作者:
李富华
;
王玉涛
;
潘开文
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提交时间:2011/07/08
植物病理学
玉米弯孢叶斑病
发生规律
抗病机制
防治
烟草野蛞蝓发生危害规律及其综合防治研究
期刊论文
OAI收割
西南农业大学学报, 2003, 卷号: 25, 期号: 2, 页码: 98-100
作者:
周又生
;
杨明
;
朱平
;
周正清
;
苏萍
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提交时间:2010/08/12
烟草野蛞蝓
年发生危害规律
日取食活动规律
生物生态学习性
综合防治
咖啡旋皮天牛与咖啡灭字虎天牛发生危害比较研究
期刊论文
OAI收割
西南农业大学学报, 2003, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 24-27
作者:
周又生
;
王华
;
周庆辉
;
陶萍
;
黄嘉良
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提交时间:2010/08/12
咖啡旋皮天牛
咖啡灭字虎天牛
各虫态形态特征
生物生态学习性
发生危害规律
比较研究及治理
沈阳地区草坪禾本科杂草发生规律研究
期刊论文
OAI收割
杂草科学, 2002, 期号: 3, 页码: 4
作者:
魏建兵
;
姜会宏
;
张春涛
;
罗东明
;
徐岚
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提交时间:2016/12/06
草坪
禾本科杂草
发生规律
咖啡灭字虎天牛生物生态学及发生危害规律和治理研究
期刊论文
OAI收割
西南农业大学学报, 2002, 卷号: 24, 期号: 1, 页码: 1-4,8
作者:
周又生
;
赵忠喜
;
李松林
;
余定安
;
周庆辉
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提交时间:2010/08/24
咖啡灭字虎天牛
生物生态学
发生危害规律
综合治理
石榴裂果发生规律及其防治对策研究
期刊论文
OAI收割
西南农业大学学报, 2002, 卷号: 24, 期号: 3, 页码: 228-230
作者:
周又生
;
陆进
;
尹忠华
;
朱天贵
;
李正旭
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提交时间:2010/08/13
石榴裂果
发生规律
防治对策
云南蒙自