机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种数字光栅无掩模光刻对准方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 3, 页码: 244-249 作者:  唐路路;  胡松;  徐峰;  唐燕;  陈铭勇 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/23 光栅  数字光栅  变频率光栅  无掩模光刻  对准方法