机构

• 上海光学精密机械研究... [1]
• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2013 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  刘晓雷 收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模模型  缺陷补偿  图形偏移  吸收层修正   差分吸收激光雷达几何因子实验确定方法 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2013, 卷号: 30 作者:  刘文清;  刘建国   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2020/11/23 差分吸收激光雷达  米散射激光雷达  几何因子  气溶胶修正  对流层臭氧