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宁波材料技术与工程研... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2019 [1]
2018 [1]
学科主题
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膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响
期刊论文
OAI收割
硅酸盐学报, 2019, 期号: 01, 页码: 6
作者:
李晓伟
;
许世鹏
;
汪爱英
;
李玉宏
;
陈仁德
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提交时间:2018/12/04
四面体非晶碳膜
膜厚
残余应力
薄膜结构
不同厚度四面体非晶碳薄膜的高通量制备及表征
期刊论文
OAI收割
无机材料学报, 2018, 期号: 11, 页码: 1173-1178
作者:
魏菁
;
李汉超
;
柯培玲
;
汪爱英
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提交时间:2018/12/04
四面体非晶碳膜
高通量
厚度
微结构
光学带隙