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红外探测材料与器件 [1]
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康养旅游研究的国内外对比与展望
期刊论文
OAI收割
世界地理研究, 2023, 卷号: 32, 期号: 11, 页码: 167-180
作者:
朱冬芳
;
钟林生
;
虞虎
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提交时间:2023/12/04
康养旅游
研究对比
研究展望
中国
国外
国家公园公益化管理国外相关研究及启示
CNKI期刊论文
OAI收割
2021
作者:
孙琨
;
钟林生
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提交时间:2022/10/11
国家公园
公益化管理
国外文献
研究总结
农村生活污水排放特征研究述评
期刊论文
OAI收割
安徽农业科学, 2012, 卷号: 1, 期号: 2, 页码: 964-967
侯京卫
;
范彬
;
曲波
;
蔡亮
;
朱仕坤
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提交时间:2014/12/05
中国农村生活污水
国外分散生活污水
排放特征
研究进展
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
国外城市蔓延研究进展
中文期刊论文
OAI收割
2008
作者:
陈明星
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提交时间:2012/05/23
城市蔓延
密度
国外
研究进展
关于文章摘要人称使用规定的讨论
会议论文
OAI收割
陕西省科技期刊编辑学会学术年会, 中国陕西, 2006
潘炼德
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提交时间:2012/10/19
摘要
人称
部门标准
国家标准|Abstract
对目前文摘编写规则中要求一律用第三人称的写法的规定作了分析和讨论。认为从汉语角度看
对中文摘要“要用第三人称的写法。应采用‘对……进行了研究’
‘报告了……现状’
‘进行了……调查’等记述方法……”的要求往往导致句子缺少主语和前
后句衔接不顺畅的后果。至于对英文摘要一般要求使用第三人称和被动语态的情况
似乎与目前国外发展趋势不太吻合。建议对现有的有关编写文摘的国家标准作适度修改或颁布一个补充规定
放宽对人称使用等的限制。
李国杰:重点跨越 另辟蹊径力争我国CPU设计与国外并驾齐驱
期刊论文
OAI收割
中国科学院院刊, 2006, 卷号: 21.0, 期号: 002, 页码: 94
作者:
李国杰
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提交时间:2023/12/04
CPU
计算技术研究所
跨越
国外
设计
中国科学院
创新型
领导干部
座谈会
1995年以来国外泥炭及泥炭地研究进展
期刊论文
OAI收割
生态环境, 2003, 卷号: 12, 期号: 1, 页码: 86-91
刘永和
;
孟宪民
;
王忠强
;
刘滨华
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提交时间:2010/11/25
国外
泥炭
研究进展
国外农业科技成果产业化的发展
期刊论文
OAI收割
农业现代化研究, 1996, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 122-124
王文玺
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提交时间:2013/02/23
科技成果产业化
国外农业
农业生物技术
农业科技成果
狂犬病疫苗
马铃薯
胚胎移植
生物技术产业化
转化为生产力
研究成果