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干滩表层沉积尾矿的细观几何特征研究 期刊论文  OAI收割
岩石力学与工程学报, 2016, 期号: 04, 页码: 768-777
作者:  
巫尚蔚;  杨春和;  张超;  冒海军;  李浩然
  |  收藏  |  浏览/下载:52/0  |  提交时间:2018/06/25
结合几何的MCNP计算结果可视化分析系统的研究与实现 期刊论文  OAI收割
核科学与工程, 2010, 卷号: 000
作者:  
范言昌;  龙鹏程;  曾勤;  张俊军;  应栋川
  |  收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2020/10/26
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
地图的定性和定量分析 中文期刊论文  OAI收割
2009
作者:  
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/05/22
地图的定性和定量分析 期刊论文  OAI收割
地球信息科学学报, 2009, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 169-175
作者:  
王劲峰
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2011/10/13
基于代数的软件过程建模系统的设计与实现 期刊论文  OAI收割
计算机工程与设计, 2008, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 530-534,539
杨国伟; 杨秋松; 翟健; 袁峰
  |  收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2011/06/10
关系数据库中多维数据分析及展现的研究 期刊论文  OAI收割
计算机工程与设计, 2008, 卷号: 29, 期号: 9, 页码: 2262-2265+2274
刘庆伟; 孙静
  |  收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2010/08/26
基于LabVIEW的仪器控制方法与实现 会议论文  OAI收割
第十七届全国测控计量仪器仪表学术年会, 中国福建厦门, 2007
刘枫; 吴海涛; 卢晓春
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/10/19
基于OSPF和BGP的网络拓扑实时发现系统的设计 期刊论文  OAI收割
计算机应用, 2007, 卷号: 27.0, 期号: 012, 页码: 2995
作者:  
潘文熹;  梁伟;  陈沫;  吴跃
  |  收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2023/12/04