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均压槽对空气静压轴承微振动的影响 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2014, 期号: 12, 页码: 3354-3359
作者:  
陈斌
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2015/04/17